微型導(dǎo)軌可用于IC/LSI制造裝置，因?yàn)镮C/LSI制造裝置對(duì)工藝及精度要求極高，所以在直線傳動(dòng)方面，也只有微型導(dǎo)軌能滿足設(shè)備的技術(shù)要求，因此微型導(dǎo)軌可用于IC/LSI制造裝置。

圖：微型導(dǎo)軌可用于IC/LSI制造裝置

  IC也就是我們常說的集成電路，而LSI則是指大規(guī)模集成電路，總的來說我們可以將IC和LSI籠統(tǒng)的稱為芯片。而要說到IC/LSI制造裝置，就是我們經(jīng)常說的芯片制造設(shè)備，這類設(shè)備很多，并且都比較高端，我們也可以將其稱為半導(dǎo)體生產(chǎn)加工。半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工過程主要包括晶圓制造（前道，F(xiàn)ront-End）和封裝（后道，Back-End）測(cè)試，隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的滲透，出現(xiàn)介于晶圓制造和封裝之間的加工環(huán)節(jié)，稱為中道（Middle-End）。而這些設(shè)備又可以細(xì)分為很多種，其技術(shù)都是非常前沿的，對(duì)精度要求較高，并且均為智能自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備。因?yàn)檫@些設(shè)備的要求高，并且有很多需要執(zhí)行很多直線運(yùn)動(dòng)，因此就要用度對(duì)精度要求很高的微型導(dǎo)軌，如真空機(jī)器人就是用于晶圓搬運(yùn)的設(shè)備。

  因?yàn)槲⑿蛯?dǎo)軌可用于IC/LSI制造裝置，可見它的精度之高，應(yīng)用范圍之光，儼然已經(jīng)可以應(yīng)用我們工作和生活中的各個(gè)領(lǐng)域。

本文由陜西達(dá)沃鑫智能裝備有限公司原創(chuàng) 站點(diǎn)：www.wharting.cn 作者：微型導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家 發(fā)表時(shí)間：2022年12月1日13：48：28